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THK直线导轨滚珠丝杠在半导体、液晶制造装备上的应用和作用

发布时间:2021-01-28 浏览次数:24

电脑、手机、平板电视。“半导体、液晶制造装备”是所有电气、电子设备生产中不可缺少的。该装置的发展不仅是PC的高性能化、手机的高功能化,还使大型电视的成本降低等生活更加多彩。THK产品还支持要求精细高性能的技术。


玻璃断面研磨单元

用于汽车导航和移动设备等的液晶面板。在对该断面进行漂亮加工的工序中,采用了动作顺畅的装有球保持器的LM导轨和紧凑形状的滚珠丝杠。


玻璃基板搬送装置

为了高速且长距离地输送大液晶玻璃基板,优异的高速性、稳定的精度、也能追随长行程的LM导轨和直线电机驱动的组合是不可缺少的。


液晶玻璃基板用探针工作台单元

检查液晶玻璃基板电气特性的测定器要求在大范围内进行正确的定位。高精度加工的LM导轨和滚珠丝杠也追随日益大型化的液晶玻璃基板,有助于提高生产效率。


石英坩埚外径测定机

硅锭生产工艺中使用的石英坩埚,测量其外观尺寸的装置使用的是组合有LM滚珠丝杠和LM模组的GL型,有助于减少设计工时和安装工时,降低总成本。


CNC旋床

加工传递动作和力的齿轮的滚刀盘以前使用滑动导向,但在配管设计和供油管理等方面很费工夫。通过在LM导轨和滚珠丝杠中追加润滑选择项使用,具有减少设计、组装工时和延长维护周期等优点。


平面磨床

直到今年为止,平面磨床的工作台进给一直采用液压缸,但是,通过使用滚珠丝杠对工作台进给机构进行伺服化,高度控制进给速度,实现了高生产效率。另外,滚珠丝杠化作为不使用液压的清洁机械,也可以环保。


使用的产品

LM直线导轨滑块,滚珠丝杠,交叉滚柱轴环,润滑脂产品等。

 

           

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编辑:THK总代理

来源:THK官网

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导轨:金属或其它材料制成的槽或脊,可承受、固定、引导移动装置或设备并减少其摩擦的一种装置。导轨表面上的纵向槽或脊,用于导引、固定机器部件、专用设备及仪器等。直线导轨是一种滚动导引,它由钢珠在滑块与导轨之间作无限滚动循环,使得负载平台能沿着导轨轻易的以高精度作线性运动,其摩擦系数可降至传统滑动导引的1/50,使之能轻易地达到um级的定位精度。滑块与导轨间的末制单元设计,使得线形导轨可同时承受上下左右等各方向的负荷,专利的回流系统及精简化的结构设计让线性导轨有更平顺且低噪音的运动。直线导轨(线性导轨)广泛用于精密电子设备,拉力试验机及数字化三维坐标测量设备等精密设备,以及多轴机床、冲床、工具磨床、自动气割机、打印机、卡片分选机、食品包装机等工业机械的滑动部件。通常,大连直线导轨副的选用必须根据使用条件、负载能力、和预期寿命选用。所谓使用条件主要是指应用何种设备、精度要求、刚性要求、负荷方式、行程、运行速度、使用频率、使用环境等因素。根据条件选择对应的合适产品系列。在选用的过程中可以根据计算结果随时返回到前面的步骤进行重新选择和设定。计算滑块较大负荷时要确认选用的直线导轨静安全系数应该超过表中所列值。如果所选用的直线导轨副刚性不足,可以提高预压力,加大选用尺寸或增加滑块数来提高刚性。1、直线导轨规格的确认,比如HG、MG、TKMD等常用系列导轨,对应的都有使用场合介绍。2、直线导轨的精度选择,直线导轨的精度等级:一般直线导轨副的精度分为普通级(C)、(H)、精密级(P)、超精密级和超高精密级五种。3、直线导轨长度和滑块数量的确认。一般选直线导轨规格与滚珠丝杆的直径相等,如滚珠丝杆直径为32mm则直线导轨常选30系列直线导轨。4、导轨的刚性、滑块预压力和使用寿命的选择确认。由于实际使用环境中粉尘和渣滓会影响到工况,建议选大一个规格,具体参阅手册有详细的介绍。 凯特LG EA-双圆弧滚珠线轨 新型复合聚酯缓冲器 凯特CPBS-气压常闭带刹车型钳制器 凯特15直线导轨 凯特LM微型滚珠线轨 凯特CHBS-液压常闭带刹车型钳制器 凯特20直线导轨 PET系列 凯特25直线导轨 DTA系列-中型可调节