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THK直线导轨滚珠丝杠在半导体、液晶制造装备上的应用和作用

发布时间:2021-01-28 浏览次数:23

电脑、手机、平板电视。“半导体、液晶制造装备”是所有电气、电子设备生产中不可缺少的。该装置的发展不仅是PC的高性能化、手机的高功能化,还使大型电视的成本降低等生活更加多彩。THK产品还支持要求精细高性能的技术。


玻璃断面研磨单元

用于汽车导航和移动设备等的液晶面板。在对该断面进行漂亮加工的工序中,采用了动作顺畅的装有球保持器的LM导轨和紧凑形状的滚珠丝杠。


玻璃基板搬送装置

为了高速且长距离地输送大液晶玻璃基板,优异的高速性、稳定的精度、也能追随长行程的LM导轨和直线电机驱动的组合是不可缺少的。


液晶玻璃基板用探针工作台单元

检查液晶玻璃基板电气特性的测定器要求在大范围内进行正确的定位。高精度加工的LM导轨和滚珠丝杠也追随日益大型化的液晶玻璃基板,有助于提高生产效率。


石英坩埚外径测定机

硅锭生产工艺中使用的石英坩埚,测量其外观尺寸的装置使用的是组合有LM滚珠丝杠和LM模组的GL型,有助于减少设计工时和安装工时,降低总成本。


CNC旋床

加工传递动作和力的齿轮的滚刀盘以前使用滑动导向,但在配管设计和供油管理等方面很费工夫。通过在LM导轨和滚珠丝杠中追加润滑选择项使用,具有减少设计、组装工时和延长维护周期等优点。


平面磨床

直到今年为止,平面磨床的工作台进给一直采用液压缸,但是,通过使用滚珠丝杠对工作台进给机构进行伺服化,高度控制进给速度,实现了高生产效率。另外,滚珠丝杠化作为不使用液压的清洁机械,也可以环保。


使用的产品

LM直线导轨滑块,滚珠丝杠,交叉滚柱轴环,润滑脂产品等。

 

           

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编辑:THK总代理

来源:THK官网

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